| 超短脉冲激光烧蚀熔融硅的理论模型 |
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| 引用本文： | 孙元征,林晓辉,陈云飞.超短脉冲激光烧蚀熔融硅的理论模型[J].功能材料与器件学报,2008,14(1):38-42. |
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| 作者姓名： | 孙元征 林晓辉 陈云飞 |
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| 作者单位： | 1. 东南大学机械工程学院,南京,211189
2. 东南大学机械工程学院,南京,211189;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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江苏省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 在Fokker_P1anck方程的基础上,对超短脉冲激光烧蚀熔融硅的机理进行分析研究,建立了雪崩电离、多光子吸收电离导致的熔融硅烧蚀机理的数学模型.其计算得出的激光能量密度和临界烧蚀阀值与实验结果很好的吻合,定量解释了超短脉冲激光对熔融硅烧蚀损伤微观过程的影响.
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| 关 键 词： | 超短脉冲激光 烧蚀 雪崩电离 多光子吸收电离 |
| 文章编号： | 1007-4252(2008)01-0038-05 |
| 修稿时间： | 2007年7月20日 |
Theoretical model investigation about the mechanism of ultrashort -pulse laser ablation fused silica |
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| SUN Yuan-zheng,LIN Xiao-hui,CHEN Yun-fei.Theoretical model investigation about the mechanism of ultrashort -pulse laser ablation fused silica[J].Journal of Functional Materials and Devices,2008,14(1):38-42. |
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| Authors: | SUN Yuan-zheng LIN Xiao-hui CHEN Yun-fei |
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