| 类金刚石膜的性能、制备及其应用 |
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| 引用本文： | 杨玉卫,杨坚,古宏伟,刘慧舟,张华,金薇.类金刚石膜的性能、制备及其应用[J].硅酸盐通报,2008,27(1):119-126. |
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| 作者姓名： | 杨玉卫 杨坚 古宏伟 刘慧舟 张华 金薇 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088;北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088;北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088;北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088;北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088;北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088 |
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| 摘 要： | 类金刚石膜是无定形碳中含sp3键的亚稳态结构.由于它的组成、光学透过率、硬度、折射率和在化学腐蚀剂中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金刚石,其应用领域不断被拓宽,因此对类金刚石的研究也日益成为热点.本文介绍了类金刚石的性能、制备类金刚石膜的物理气相沉积和化学气相沉积方法,概括了类金刚石膜在机械、电磁学、光学、医学以及其它领域的应用,最后指出了类金刚石膜的研究现状及其发展趋势.
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| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 制备工艺 应用 |
| 文章编号： | 1001-1625(2008)01-0119-08 |
Properties,Processing and Application of Diamond-like Carbon Film |
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| YANG Yu-wei,YANG Jian,GU Hong-wei,LIU Hui-zhou,ZHANG Hua,JIN Wei.Properties,Processing and Application of Diamond-like Carbon Film[J].Bulletin of the Chinese Ceramic Society,2008,27(1):119-126. |
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| Authors: | YANG Yu-wei YANG Jian GU Hong-wei LIU Hui-zhou ZHANG Hua JIN Wei |
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