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类金刚石膜的性能、制备及其应用
引用本文:杨玉卫,杨坚,古宏伟,刘慧舟,张华,金薇.类金刚石膜的性能、制备及其应用[J].硅酸盐通报,2008,27(1):119-126.
作者姓名:杨玉卫  杨坚  古宏伟  刘慧舟  张华  金薇
作者单位:北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088;北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088;北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088;北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088;北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088;北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088
摘    要:类金刚石膜是无定形碳中含sp3键的亚稳态结构.由于它的组成、光学透过率、硬度、折射率和在化学腐蚀剂中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金刚石,其应用领域不断被拓宽,因此对类金刚石的研究也日益成为热点.本文介绍了类金刚石的性能、制备类金刚石膜的物理气相沉积和化学气相沉积方法,概括了类金刚石膜在机械、电磁学、光学、医学以及其它领域的应用,最后指出了类金刚石膜的研究现状及其发展趋势.

关 键 词:类金刚石薄膜  制备工艺  应用
文章编号:1001-1625(2008)01-0119-08

Properties,Processing and Application of Diamond-like Carbon Film
YANG Yu-wei,YANG Jian,GU Hong-wei,LIU Hui-zhou,ZHANG Hua,JIN Wei.Properties,Processing and Application of Diamond-like Carbon Film[J].Bulletin of the Chinese Ceramic Society,2008,27(1):119-126.
Authors:YANG Yu-wei  YANG Jian  GU Hong-wei  LIU Hui-zhou  ZHANG Hua  JIN Wei
Abstract:
Keywords:
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