| Ga2O3薄膜材料氧敏性能的研究 |
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| 引用本文： | 侯峰,王科伟,徐廷献,徐明霞. Ga2O3薄膜材料氧敏性能的研究[J]. 稀有金属材料与工程, 2005, 34(Z2): 875-877 |
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| 作者姓名： | 侯峰 王科伟 徐廷献 徐明霞 |
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| 作者单位： | 天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家基金委重大项目(599955206)及国家自然科学基金(50072014)资助 |
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| 摘 要： | 实验以三氯化镓为原料,柠檬酸为络合剂,通过NH3·H2O调节pH值,得到透明稳定的前躯体溶胶,红外光谱分析表明上述溶胶在向凝胶转变过程中,发生镓与柠檬酸的络合,并在干燥过程中依靠氢键形成大分子聚合物.采用提拉涂覆溶胶-凝胶法在多晶氧化铝基片表面形成凝胶膜后,经800℃下热处理,凝胶膜转化为单斜相β-氧化镓陶瓷薄膜.重复镀膜和热处理及超声清洗过程8个～10个周期,最后在800℃下烧结,保温1h,得到粒径为50nm～100nm左右的多孔纳米薄膜.采用自制系统检测β-Ga2O3薄膜的氧敏性能,结果表明Fe掺杂的氧化镓薄膜材料,在400℃～800℃范围内,在理论空燃比附近,电阻突变幅度大于2个数量级,具有较高的灵敏度.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 Ga2O3薄膜 氧敏性能 |
| 文章编号： | 1002-185X(2005)S1-0875-03 |
| 修稿时间： | 2004-12-28 |
Study on the Oxygen Sensing Properties of Ga2O3 Thin Film |
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| Hou Feng,Wang Kewei,Xu Tingxian,Xu Mingxia. Study on the Oxygen Sensing Properties of Ga2O3 Thin Film[J]. Rare Metal Materials and Engineering, 2005, 34(Z2): 875-877 |
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| Authors: | Hou Feng Wang Kewei Xu Tingxian Xu Mingxia |
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