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| 冰粒超净清洗装置 | |
| 引用本文： | 沈新.冰粒超净清洗装置[J].机械工人(冷加工),1991(7):50-51. |
| 作者姓名： | 沈新 |
| 摘 要： | 冰粒超净清洗装置,利用产生冰晶微粒喷射工件表面,以达到去除表面附着物及除油的目的,洁净度可达0.1μm级,该装置有两种构造原理,分别产生粗细两挡冰粒。 (1)喷雾式 原理如图1。产生冰粒直径φ30～300μm。容器内注入液氮,容器顶部喷嘴喷入超纯水水雾,水雾被液氮冷却 |
| 关 键 词： | 冰粒超净清洗 清洗装置 |
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