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纳米孔径垂直腔面发射激光器的制备及特性
引用本文:高建霞,宋国峰,甘巧强,徐云,郭宝山,陈良惠.纳米孔径垂直腔面发射激光器的制备及特性[J].半导体学报,2007,28(2).
作者姓名:高建霞  宋国峰  甘巧强  徐云  郭宝山  陈良惠
作者单位:中国科学院半导体研究所,纳米光电子实验室,北京,100083
基金项目:中国科学院知识创新工程和国家高技术研究发展计划
摘    要:在850 nm波长垂直腔面发射激光器的基础上制备了纳米孔径垂直腔面发射激光器.当小孔尺寸为400 nm×400 nm时,在25 mA驱动电流下,其最大输出光功率达到了0.3 mW,功率密度约为2 mW/μm2.文中介绍了纳米孔径垂直腔面发射激光器的制备工艺,并对它的光谱特性和寿命特性进行了分析.

关 键 词:近场光学  纳米孔径垂直腔面发射激光器  输出光功率  光学特性

Fabrication and Characteristics of Nano-Aperture Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser
Gao Jianxia,Song Guofeng,Gan Qiaoqiang,Xu Yun,Guo Baoshan,Chen Lianghui.Fabrication and Characteristics of Nano-Aperture Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(2).
Authors:Gao Jianxia  Song Guofeng  Gan Qiaoqiang  Xu Yun  Guo Baoshan  Chen Lianghui
Abstract:
Keywords:
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