| 流图法在光探测器芯片高频特性测量校准上的应用 |
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| 引用本文： | 苗昂,黄永清,李轶群,吴强,黄辉,任晓敏.流图法在光探测器芯片高频特性测量校准上的应用[J].半导体学报,2007,28(3). |
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| 作者姓名： | 苗昂 黄永清 李轶群 吴强 黄辉 任晓敏 |
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| 作者单位： | 北京邮电大学光通信与光波技术教育部重点实验室,北京,100876 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)，国家自然科学基金，教育部跨世纪优秀人才培养计划 |
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| 摘 要： | 在采用光调制法测量光探测器芯片高频响应特性的过程中,测试系统往往忽视光调制器响应、高频探针衰减以及端口间失配等误差中的一项或几项.为了降低校准不完善对结果造成的误差,文中提出了基于信号流图的系统校准分析方法,考虑了各种频响误差及端口间失配的影响,推导出校准公式.利用该法对一种光探测器的典型测试系统--基于LCA(lightwave component analyzer)的测试系统做了进一步校准分析,在130MHz～20GHz范围内,测量了一种新型光探测器的高频响应参数S21,结果表明经流图法校准的S21参数比仅使用原有校准算法有明显改善,证明了该方法的可行性.
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| 关 键 词： | 光探测器 高频响应 校准 |
Application of "Flow-Graph" Technique in Measurement Calibration of High Frequency Characteristics of Photodetectors |
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| Miao Ang,Huang Yongqing,Li Yiqun,Wu Qiang,Huang Hui,Ren Xiaomin.Application of "Flow-Graph" Technique in Measurement Calibration of High Frequency Characteristics of Photodetectors[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(3). |
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| Authors: | Miao Ang Huang Yongqing Li Yiqun Wu Qiang Huang Hui Ren Xiaomin |
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