| 键合方法制备长波长面发射的实验和分析 |
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| 引用本文： | 何国荣,郑婉华,渠红伟,杨国华,王青,吴旭明,曹玉莲,陈良惠.键合方法制备长波长面发射的实验和分析[J].半导体学报,2007,28(3). |
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| 作者姓名： | 何国荣 郑婉华 渠红伟 杨国华 王青 吴旭明 曹玉莲 陈良惠 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 通过疏水键合方法实现了InGaAsP/InP有源区与GaAs/AlAs DBR的单面和双面键合,并通过SEM,I-V曲线和反射谱、光致发光谱等手段研究了GaAs/InP键合界面的机械、光学和电学性质,良好的界面性质为使用键合技术制备长波长面发射激光器提供了可能性.
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| 关 键 词： | 键合 面发射激光器 光致发光谱 |
Analysis of the Fabrication of a Surface Emitting Laser by the Bonding Method |
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| He Guorong,Zheng Wanhua,Qu Hongwei,Yang Guohua,Wang Qing,Wu Xuming,Cao Yulian,Chen Lianghui.Analysis of the Fabrication of a Surface Emitting Laser by the Bonding Method[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(3). |
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| Authors: | He Guorong Zheng Wanhua Qu Hongwei Yang Guohua Wang Qing Wu Xuming Cao Yulian Chen Lianghui |
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