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9.0μm GaAs基量子级联激光器的波导优化
引用本文:李路,刘峰奇,邵烨,刘俊岐,王占国. 9.0μm GaAs基量子级联激光器的波导优化[J]. 半导体学报, 2007, 28(1)
作者姓名:李路  刘峰奇  邵烨  刘俊岐  王占国
作者单位:中国科学院半导体研究所,材料科学重点实验室,北京,100083
基金项目:国家自然科学基金,国家自然科学基金,国家高技术研究发展计划(863计划),国际高技术研究发展计划,国家重点基础研究发展计划(973计划),国家高技术研究发展计划(863计划)
摘    要:通过转移矩阵法和有效折射率法计算了9.0μm GaAs基量子级联激光器波导的模式损耗和限制因子,从而对其波导结构进行优化.计算中考虑了各外延层的厚度、脊宽和腔长的影响.给出了在较低阈值下节约材料生长时间的各外延层厚度.

关 键 词:量子级联激光器  转移矩阵法  有效折射率法

Waveguide Optimization for a 9.0μm GaAs-Based Quantum Cascade Laser
Li Lu,Liu Fengqi,Shao Ye,Liu Junqi,Wang Zhanguo. Waveguide Optimization for a 9.0μm GaAs-Based Quantum Cascade Laser[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2007, 28(1)
Authors:Li Lu  Liu Fengqi  Shao Ye  Liu Junqi  Wang Zhanguo
Abstract:Improved waveguide designs for 9.0μm GaAs-based quantum cascade laser (QCL) structures are presented.Modal losses and confinement factors are calculated for TM modes with the transfer matrix method (TMM) and effective index method (EIM).The thicknesses of the cladding layer and waveguide layer,the ridge-width,and the cavity length are all taken into account.Appropriate thicknesses of epilayers are given with lower threshold gain and more economical material growth time.
Keywords:quantum cascade laser  transfer matrix method  effective index method
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