硬脆材料超精密镜面削的研究 |
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作者姓名: | 张飞虎 袁哲俊 张春河 王平 |
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作者单位: | 哈尔滨工业大学!150001 |
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摘 要: | 一、概述目前超精密加工方法主要有三种,即超精密切削、磨削、研磨及抛光。在当前大量使用的新材料中,有很多属于硬脆材料,如各种工程陶瓷、光学玻璃、单晶硅等。这些材料由于其自身性能的特点,很难或无法使用金刚石刀具进行超精密切削加工,而使用研磨方法往往又很难满足工件形状精度和加工效率的要求,而且难以实现自动化和在线测量,因此超精密磨削成为硬脆材料超精密加工的最重要手段。二、硬脆材料超精密磨削机理及工艺要求硬脆材料的特点是硬度很高,但韧性、塑性很差,断裂韧性小,在常规加工过程中,主要以裂纹生成一扩展一碎裂…
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