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| 硬脆材料超精密镜面削的研究 | |
| 作者姓名： | 张飞虎 袁哲俊 张春河 王平 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学!150001 |
| 摘 要： | 一、概述目前超精密加工方法主要有三种，即超精密切削、磨削、研磨及抛光。在当前大量使用的新材料中，有很多属于硬脆材料，如各种工程陶瓷、光学玻璃、单晶硅等。这些材料由于其自身性能的特点，很难或无法使用金刚石刀具进行超精密切削加工，而使用研磨方法往往又很难满足工件形状精度和加工效率的要求，而且难以实现自动化和在线测量，因此超精密磨削成为硬脆材料超精密加工的最重要手段。二、硬脆材料超精密磨削机理及工艺要求硬脆材料的特点是硬度很高，但韧性、塑性很差，断裂韧性小，在常规加工过程中，主要以裂纹生成一扩展一碎裂… |
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