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基于电流控制的压电陶瓷驱动器
引用本文:荣伟彬,邹翾,徐敏,孙立宁.基于电流控制的压电陶瓷驱动器[J].纳米技术与精密工程,2007,5(1):38-43.
作者姓名:荣伟彬  邹翾  徐敏  孙立宁
作者单位:哈尔滨工业大学机器人研究所,哈尔滨,150001
基金项目:国家自然科学基金;教育部长江学者和创新团队发展计划
摘    要:为了解决电压控制型压电陶瓷驱动器驱动压电陶瓷时存在的迟滞、蠕变和带宽窄的问题,设计了基于电流控制的压电陶瓷驱动器,利用压电陶瓷致动器位移与其所带电荷量间的线性关系,该驱动器通过控制压电陶瓷的充电电流和时间控制其位移量.在此基础上,提出了以分辨率换取稳定性的动态保持控制方法,采用该电流型驱动器,实现了开环下对压电陶瓷致动器的稳定、快速、高精度定位.实验结果表明,该驱动器驱动行程为10μm的压电陶瓷时,满行程带宽大于1.5kHz,重复定位精度小于4nm(0.4%).

关 键 词:压电陶瓷驱动器  压电陶瓷致动器  电流控制  纳米定位
文章编号:1672-6030(2007)01-0038-06
收稿时间:2006-05-20
修稿时间:2006年5月20日

Piezoelectric Driver Based on Current Control
RONG Wei-bin,ZOU Xuan,XU Min,SUN Li-ning.Piezoelectric Driver Based on Current Control[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2007,5(1):38-43.
Authors:RONG Wei-bin  ZOU Xuan  XU Min  SUN Li-ning
Abstract:
Keywords:piezoelectric driver  piezoelectric actuator  current control  nano-positioning
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