刀具TiN涂层工艺与切削试验 |
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引用本文: | 王玉魁,于宁.刀具TiN涂层工艺与切削试验[J].机械工程师,1995(3):47-49. |
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作者姓名: | 王玉魁 于宁 |
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作者单位: | 大连理工大学材料工程系,大连供热工程应用技术研究所 |
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摘 要: | 本文介绍等离子体增强磁控溅射离子镀TiN涂层工艺,膜层组织结构和性能;研究和基片负偏压和靶功率对膜层组成和性能的影响;探讨了Ti2N对膜层的强化作用,结果表明,由Ti2N和TiN的两相组成的恨具涂层具有良好切削性能。
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关 键 词: | 等离子体 溅射 切削力 刀具 氮化钛涂层 |
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