| 管式PECVD法沉积的SiyNx/SiOxNy叠层膜的研究 |
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| 引用本文： | 王贵梅,许志卫,靳迎松,朱少杰,王少丽.管式PECVD法沉积的SiyNx/SiOxNy叠层膜的研究[J].太阳能,2022(1). |
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| 作者姓名： | 王贵梅 许志卫 靳迎松 朱少杰 王少丽 |
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| 作者单位： | 晶澳太阳能有限公司 |
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| 摘 要： | 本文对采用管式等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法沉积的氮化硅与氮氧化硅(SiyNx/SiOxNy)叠层膜进行了实验研究,结果表明:在硅片正面镀膜时增加SiOxNy膜层,既可以增强正面的钝化效果,还可以降低对光的反射率,增加光吸收率,从而提升太阳电池的短波响应能力,通过对膜层组分和反应气体流量等工艺参数进行匹配优化,使太阳电池的光电转换效率提升了0.07%;利用SiyNx/SiOxNy叠层膜抗氧化、抗钠离子的特性,使太阳电池的抗电势诱导衰减(PID)性能提升了22%。
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| 关 键 词： | 管式PECVD 氮氧化硅薄膜 氮化硅薄膜 SiyNx/SiOxNy叠层膜 太阳电池 短波响应 抗PID性能 |
STUDY ON SiyNx/SiOxNyLAMINATED FILM DESPOSITED BY TUBULAR PECVD METHOD |
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| Wang Guimei,Xu Zhiwei,Jin Yingsong,Zhu Shaojie,Wang Shaoli.STUDY ON SiyNx/SiOxNyLAMINATED FILM DESPOSITED BY TUBULAR PECVD METHOD[J].Solar Energy,2022(1). |
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| Authors: | Wang Guimei Xu Zhiwei Jin Yingsong Zhu Shaojie Wang Shaoli |
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| Affiliation: | (JASolar Co.,Ltd.,Xingtai 055550,China) |
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| Keywords: | tubular PECVD SiOxNyfilm SiyNxfilm SiyNx/SiOxNylaminated film solar cells short wave response anti-PID performance |
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