| 基于Al2O3/NEA121堆叠薄膜的水氧阻隔性能研究 |
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| 引用本文： | 彭荣,杨振波,王珺. 基于Al2O3/NEA121堆叠薄膜的水氧阻隔性能研究[J]. 电子与封装, 2022, 22(4): 16-20. DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.0403 |
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| 作者姓名： | 彭荣 杨振波 王珺 |
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| 作者单位： | 广州科技职业技术大学信息工程学院,广州 510000 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 薄膜封装 无机/有机叠层薄膜 水汽透过率 原子层沉积 旋涂 |
Research on Water and Oxygen Barrier Performance Based on Al2O3/NEA121 Encapsulation Film |
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| PENG Rong,YANG Zhenbo,WANG Jun. Research on Water and Oxygen Barrier Performance Based on Al2O3/NEA121 Encapsulation Film[J]. Electronics & Packaging, 2022, 22(4): 16-20. DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.0403 |
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| Authors: | PENG Rong YANG Zhenbo WANG Jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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