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| 电子光学在微电子技术中的应用 | |
| 引用本文： | 肖化明,陈中佛,刘永宽. 电子光学在微电子技术中的应用[J]. 固体电子学研究与进展, 1988, 0(4) |
| 作者姓名： | 肖化明 陈中佛 刘永宽 |
| 作者单位： | 无锡微电子联合公司科研中心(肖化明，陈中佛)，无锡微电子联合公司科研中心(刘永宽) |
| 摘 要： | <正> 一、引言 自从人们以电子作为光源,并利用电磁透镜使之会聚成像之后,近年来兴起了一门新的科学——电子光学。于是电子显微镜以崭新的面貌出现,为人类向微观世界和高技术领域的进展提供了强有力的武器。各种电镜(透射电镜、扫描电镜、俄歇电镜、扫描隧道电镜),电子探针,各种表面分析仪以及电子束曝光机,电子束退火装置等的研究,制造和开发利用非常活跃,业已深入到微电子技术的各个领域,对微电子技术的发展起着巨大的作用。 |
Application of Electron Optics in Microelectronics |
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| Abstract: | A variety of applications of electron optics in microelectronics industry are illustrated and the great importance of the electron optic instruments for the development of microelectronics is demonstrated. |
| Keywords: | |
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