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国外GaAs单晶制备技术的进展

引用本文：	钱小工.国外GaAs单晶制备技术的进展[J].微纳电子技术,1988(2).

作者姓名：	钱小工

摘要：	本文除介绍GaAs单晶制备技术的发展过程外,重点叙述了近年来为实现GaAs单晶的高质量化而对LEC法提出的各种改进措施。
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