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微波管栅发射问题的研究
引用本文:王小霞,廖显恒,赵青兰,余晓军,张济忠.微波管栅发射问题的研究[J].电子与信息学报,2002,24(7):1005-1008.
作者姓名:王小霞  廖显恒  赵青兰  余晓军  张济忠
作者单位:1. 中国科学院电子学研究所,北京,100080
2. 清华大学材料与工程系,北京,100084
摘    要:利用离子束辅助沉积技术在 Mo栅极上镀上并注入一层 Hf膜,对镀后的样品进行了形貌、结构、成份、膜厚及 Mo、Hf界面分析。将样品进行电子管模拟栅发射试验,栅极温度为 650℃,试验 1000h以上基本无栅发射电流,可以提高栅控管的可靠性和寿命。实验结果表明,阴极中的活性物质Ba蒸发到镀Hf的 Mo栅极表面,Ba,Hf和O2能形成化合物,从而有效抑制栅极发射电流。

关 键 词:栅发射    离子束辅助沉积    化合物
收稿时间:2001-3-19
修稿时间:2001年3月19日

Study on grid emission of microwave power tubes
Wang Xiaoxia,Liao Xianheng,Zhao Qinglan,Yu Xiaojun,Zhang Jizhong.Study on grid emission of microwave power tubes[J].Journal of Electronics & Information Technology,2002,24(7):1005-1008.
Authors:Wang Xiaoxia  Liao Xianheng  Zhao Qinglan  Yu Xiaojun  Zhang Jizhong
Affiliation:Institute of Electronics Chinese Acadimy of Sciences Beijing 100080 China;Dept. of Materials Sci. and Eng.,Tsinghua University Beijing 100084 China
Abstract:Hf film is coated on the surface of Mo-grids by vacuum ion beam aided deposition technology. The SEM, XRD and RBS analyses are performed on modified Mo-grids. Life-span tests of this modified Mo-grid are carried out by diode experiment. When the temperature of the modified Mo-grids is kept at 650 ℃, the modified Mo-grids electron emission can not be detected with microammeter after 1000h life-span. The experimental results show that after the grid is contaminated by electron emission substance Ba of the cathode Hf formed compounds restrain effectively electron emission of grid.
Keywords:Grid emission  Ion beam Aided deposition(IBAD)  Compounds
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