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LD1模具材料沉积TiN涂层的最佳工艺
作者姓名:邓鸣 张德元
摘    要:通过LD1模具材料多种参数沉积TiN涂层的研究,得到一个最佳LD1钢TiN涂层工艺,即在工件偏压,炉压一定的情况下,最佳的沉积温度和沉积时间,对提高LD1钢模具的表面质量和使用寿命具有重要的实际意义。

关 键 词:PVD 氮化钛 涂层 模具
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