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杂志ISSN号
硫化硅橡胶复合台面纯化工艺
引用本文:
张建华.硫化硅橡胶复合台面纯化工艺[J].半导体技术,1991(1).
作者姓名:
张建华
作者单位:
九江无线电二厂
摘 要:
1.硫化硅橡胶复合台面钝化工艺简介 (1) 管芯径台面腐蚀成型后,用冷热去离水冲洗、烘干;插入花篮,放入空烧杯中,再用干净滤纸封盖好,在滤纸上滴适量的三氯甲基硅烷,然后放入潮湿环境的烘箱内(80℃)焙烘2小时,使三氯甲基硅烷与潮湿环境中的微量水分子进行水解反应在管芯台面上沉积一层有机硅。
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