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| 应用CAD技术加速我国MEMS技术的发展 | |
| 作者姓名： | 刘晓为 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学MEMS中心 |
| 摘 要： | 在微电子机械系统技术飞速发展的今天,由于ＭＥＭＳ(Ｍｉｃｒｏ-Ｅｌｅｃｔｒｏ-Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ-Ｓｙｓｔｅｍ)器件在国防和民用领域有着广泛的应用前景,ＭＥＭＳ研究已成为世界上发达国家高科技发展的重点方向之一。近年来我国政府对ＭＥＭＳ研究非常重视,在政府的... |
| 关 键 词： | MEMS器件 CAD 传感器 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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