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| 激光微型加工及应用前景 | |
| 引用本文： | 白光.激光微型加工及应用前景[J].激光与光电子学进展,2002,39(8):48-49. |
| 作者姓名： | 白光 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 目前激光微型加工主要用于微电子学、微型机械加工、微光学领域，本文对它在这几方面的应用情况及其他方面的前景作一介绍。1 微电子学在微电子学中，激光工艺广泛用于以下几类工序：●激光光刻、集成电路修复、编码和微标志等；●激光微调电子元件：电阻、石英谐振腔、滤波器和薄膜电路的功能微调等；●记录数字信息和模拟信息；●激光沉积薄膜和微结构；●半导体的退火和掺杂；●元件的微焊接、钻微孔、衬底切割和划片等；●激光局部热加工和光化学加工，如LCVD、腐蚀、无掩模集成电路布局等。作为例子，指出激光光刻时必须解决的问题… |
| 关 键 词： | 微电子学 机械加工 微光学 激光 微型加工 应用前景 |
| 收稿时间： | 2002/1/8 |
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