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| 非正交二维MEMS倾斜镜的研制 | |
| 引用本文： | 庄须叶,汪为民,陶逢刚,姚军,高福华. 非正交二维MEMS倾斜镜的研制[J]. 光学精密工程, 2011, 19(8): 1845-1851. DOI: 10.3788/OPE.20111908.1845 |
| 作者姓名： | 庄须叶 汪为民 陶逢刚 姚军 高福华 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都,610209 2. 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都610209中国科学院研究生院,北京100039 3. 四川大学物理学院高能量密度物理与技术教育部重点实验室,四川成都,610064 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，四川省百人计划资助项目，西部三光博工资助项目 |
| 摘 要： | 为提高传统二维倾斜镜在非正交方向上的光转换效率,设计并加工了一种转轴非正交二维MEMS倾斜镜.倾斜镜上电极非对称地固定在基底上,通过控制上、下电极的加电方式实现倾斜镜在两个非正交轴上的偏转变形.采用三层膜的结构设计,消除了上电极应力变形对镜面平整度的影响.通过在上电极加工微小突起,减小上下电极的重叠面积,避免了倾斜镜的... |
| 关 键 词： | 转轴非正交倾斜镜 二维倾斜镜 微机电系统(MEMS) |
Development of non-perpendicular 2D MEMS tilt mirrors |
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| ZHUANG Xu-ye,WANG Wei-min,TAO Feng-gang,YAO Jun,GAO Fuhua. Development of non-perpendicular 2D MEMS tilt mirrors[J]. Optics and Precision Engineering, 2011, 19(8): 1845-1851. DOI: 10.3788/OPE.20111908.1845 | |
| Authors: | ZHUANG Xu-ye WANG Wei-min TAO Feng-gang YAO Jun GAO Fuhua |
| Affiliation: | 1.State Key Laboratory of Optical Technologies for Microfabrication, Institute of Optics and Electronics,Chinese Academy of Sciences,Chengdu 610209,China;2.Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100039,China;3.Key Laboratory for High Energy Density Physics and Technology of the Ministry of Education,College of Physical Science and Technology,Sichuan University,Chengdu 610064,China) |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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