| 集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作 |
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| 引用本文： | 褚金奎,陈兆鹏,张然. 集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作[J]. 光学精密工程, 2011, 19(12): 2935-2940. DOI: 10.3788/OPE.20111912.2935 |
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| 作者姓名： | 褚金奎 陈兆鹏 张然 |
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| 作者单位： | 大连理工大学机械工程学院,辽宁大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，国家973重点基础研究发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | 由于SU-8胶的弹性模量比硅的低,在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数,因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成蛇形结构铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器。介绍了制作微力传感器的新型工艺,并进行了传感器性能测试。实验结果表明:设计的SU-8胶微力传感器在0～350μN具有较好的线性度,力灵敏度为0.24mV/μN,测量误差为4.06%。该微力传感器可以满足对微小力的测量,相对于硅材料的微力传感器,其制作工艺更加简单,周期更短。由于SU-8胶的生物兼容性好,该传感器在生物医学研究领域有着很好的应用前景。
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| 关 键 词： | SU-8胶 金属压阻 微力传感器 悬臂梁 |
Microfabrication of SU-8 cantilever micro-force sensor integrated by copper piezoresistance |
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| CHU Jin-kui,CHEN Zhao-peng,ZHANG Ran. Microfabrication of SU-8 cantilever micro-force sensor integrated by copper piezoresistance[J]. Optics and Precision Engineering, 2011, 19(12): 2935-2940. DOI: 10.3788/OPE.20111912.2935 |
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| Authors: | CHU Jin-kui CHEN Zhao-peng ZHANG Ran |
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| Affiliation: | (School of Mechanical Engineering,Dalian University of Technology,Dalian 116024,China) |
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