| 多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制 |
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| 引用本文： | 李四华,徐静,龙亮,钟少龙,吴亚明.多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制[J].光学精密工程,2011,19(8):1816-1823. |
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| 作者姓名： | 李四华 徐静 龙亮 钟少龙 吴亚明 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室,上海200050;中国科学院研究生院,北京100039
2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列.理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别.研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多台阶平板静电驱动的微镜阵列,获得了微镜面尺寸达到600 μm×200 μm,包含52个微镜面排布,占空比...
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| 关 键 词： | 微光机电系统 多台阶平板 平行平板 静电驱动 微镜阵列 高占空比 |
Fabrication of high fill-factor micro-mirror array with multi-terraced-plate structure |
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| LI Si-hua,XU Jing,LONG Liang,ZHONG Shao-long,WU Ya-ming.Fabrication of high fill-factor micro-mirror array with multi-terraced-plate structure[J].Optics and Precision Engineering,2011,19(8):1816-1823. |
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| Authors: | LI Si-hua XU Jing LONG Liang ZHONG Shao-long WU Ya-ming |
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| Affiliation: | 1(1.State Key Laboratory of Transducer Technology and the Science and Technology on Microsystem Laboratory,Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050,China;2.Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100039,China) |
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| Abstract: | |
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