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纳米Si-SiO_x薄膜的发光
作者姓名:邓晓清  张仕国  樊瑞新
作者单位:浙江大学
摘    要:本文阐述了纳米硅-氧化硅光致发光的意义和机理,还分别介绍了目前各种用于制备纳米硅-氧化硅的方法和研究现状,最后讨论了今后的发展趋势。

关 键 词:纳米Si-SiO_x  发光
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