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| 实用型长脉冲、低发散角氟化氪准分子激光器 | |
| 作者姓名： | 席时权 余吟山 倪晋智 汪建业 张志平 高月凤 李会 俞明 |
| 作者单位： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 230031(席时权，余吟山，倪晋智，汪建业，张志平，高月凤，李会)，中国科学院安徽光学精密机械研究所 230031(俞明) |
| 摘 要： | 准分子器件与其它气体激光器相比,最大的不足是光束质量差。为此,国际上在八十年代后期,开始在商品器件上引入非稳腔以改善光束质量。国内虽然在实验室内实现了KrF输出,但实用型器件至今仍停留在单一的XeCl(308nm)谱线,没有能很好地解 |
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