| LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进 |
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| 引用本文： | 王文博,王晓慧,黄苒,欧毅,杜寰,夏洋,韩郑生,冯亚云,凌志华. LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进[J]. 液晶与显示, 2008, 23(5) |
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| 作者姓名： | 王文博 王晓慧 黄苒 欧毅 杜寰 夏洋 韩郑生 冯亚云 凌志华 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院微电子研究所,北京,100029
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 介绍了LCoS技术的特点与发展现状,LCoS性能的优劣与硅基片平整度有直接关系,着重进行了LCoS微显示驱动技术表面形貌的研究与改进.通过严格控制工艺步骤,降低台阶高度;合理设计版图布局,使台阶叠加在隔离像素区域的沟槽中,这样既能实现像素电极区域的局部平坦化,又因为沟槽不作为显示区域,对整体显示效果影响较小.
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| 关 键 词： | 微显示 镜面电极 |
Study and Improvement on Surface Profile of LCoS Micro-Display Driving Chip |
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| WANG Wen-bo,WANG Xiao-hui,HUANG Ran,OU Yi,DU Huan,XIA Yang,HAN Zheng-sheng,FENG Ya-yun,LING Zhi-hua. Study and Improvement on Surface Profile of LCoS Micro-Display Driving Chip[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2008, 23(5) |
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| Authors: | WANG Wen-bo WANG Xiao-hui HUANG Ran OU Yi DU Huan XIA Yang HAN Zheng-sheng FENG Ya-yun LING Zhi-hua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LCOS CMP |
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