| 辐射式衬底加热器及加热坩埚的研制 |
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| 引用本文： | 宋长安,孙志文,李健. 辐射式衬底加热器及加热坩埚的研制[J]. 真空, 2004, 41(5): 35-37 |
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| 作者姓名： | 宋长安 孙志文 李健 |
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| 作者单位： | 兰州大学物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 针对有机半导体材料的蒸发温度低的特点,设计并制作了低温辐射式加热器.通过对有机粉料的蒸发溅射时样片衬底的加热实验,取得了良好效果.其制作成本低,加热效率高, 同时又提高了设备功效,是一种多功能辐射式加热器.在真空物理实验、教学和相关科研中有着广泛的应用前景.
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| 关 键 词： | 辐射式加热器 磁控溅射薄膜 蒸发镀膜 温度 |
| 文章编号： | 1002-0322(2004)05-0035-03 |
Development of radioactive heater-crucible assembly for substrates |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | radioactive heater magnetron sputtering film deposition vacuum evaporation coating (temperature) |
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