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MOS集成电路电过应力损伤的模式和机理
作者姓名:吴建忠
作者单位:中国华晶电子集团公司 江苏无锡214061
摘    要:电过应力是造成MOS集成电路损坏的主要原因.本文结合静电放电的三种模型,详细分析了MOS集成电路电过应力损伤的模式和机理.

关 键 词:MOS 集成电路 静电放电 模型 失效 分析
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