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| 掺Nd纳米ZnO薄膜特性研究 | |
| 引用本文： | 李健,赛喜雅勒图,郝丽娟.掺Nd纳米ZnO薄膜特性研究[J].真空科学与技术,2003,23(3):212-215. |
| 作者姓名： | 李健 赛喜雅勒图 郝丽娟 |
| 作者单位： | 内蒙古大学物理系呼和浩特010021 |
| 摘 要： | 研究了用真空蒸发法在玻璃衬底上制备稀土掺杂纳米ZnO薄膜结构、导电性及光透射性能。结果显示。在500℃氧化、热处理稀土元素Nd掺杂后能够明显改善纳米ZnO薄膜的结构特性，薄膜的晶粒尺寸随掺杂含量的增加而减小。掺Nd使ZnO薄膜的电性能有所改善但使纳米ZnO薄膜的光透射性有所降低。 |
| 关 键 词： | 真空蒸发 纳米ZnO薄膜 掺杂 |
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