| 非晶碳/Mo2C混合膜的场发射特性 |
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| 引用本文： | 王朝勇,姚宁,张兵临,鲁占灵,方莉俐,邓记才,张新月,赵永梅,袁泽明.非晶碳/Mo2C混合膜的场发射特性[J].功能材料,2005,2(Z1):46-47. |
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| 作者姓名： | 王朝勇 姚宁 张兵临 鲁占灵 方莉俐 邓记才 张新月 赵永梅 袁泽明 |
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| 作者单位： | 郑州大学,材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052 |
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| 基金项目： | 教育部科学技术重点资助项目(205091) |
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| 摘 要： | 以镀有Mo过渡层的A12O3衬底,在微波等离子体增强化学气相沉积(MPCVD)系统中,制备了非晶碳/Mo2C混合结构薄膜,反应气体为CH4和H2.在高真空室中测量了样品场发射特性.开启场强为0.55V/μm,在1.8V/μm电场下样品的发射电流密度为6.8mA/cm2.发射点点密度＞103/cm2.用SEM观察了表面形貌,Raman和XRD谱分析了薄膜的微观结构和成分.实验结果表明该薄膜是一种好的场致电子发射体.
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| 关 键 词： | 场发射 微波等离子体化学气相沉积 非晶碳 Mo2C |
| 修稿时间： | 2005年5月30日 |
Field emission characters of compound film of amorphous carbon and Mo2C |
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| WANG Zhao-yong,YAO Ning,ZHANG Bing-lin,LU Zhan-ling,FANG Li-li,DENG Ji-cai,ZHANG Xin-yue,ZHAO Yong-mei,YUAN Ze-ming.Field emission characters of compound film of amorphous carbon and Mo2C[J].Journal of Functional Materials,2005,2(Z1):46-47. |
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| Authors: | WANG Zhao-yong YAO Ning ZHANG Bing-lin LU Zhan-ling FANG Li-li DENG Ji-cai ZHANG Xin-yue ZHAO Yong-mei YUAN Ze-ming |
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