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菲利浦开发最快硅BiCMOS工艺
作者姓名:荣莹
摘    要:菲利浦半导体公司宣布了一项硅BICMOS工艺技术,用此技术可生产fm。高达70Gllz的产品。这个fffi从约是以前硅器件产品的2倍,可和SIGe和GaAS的频率相匹敌。用新工艺生产的器件成本只占SIGe和GaAs产品的2/3o用QUBIC3工艺能将高速CMOS逻辑块和高频RF双极电路集成在单一芯片上。该公司计划用它来生产高速、高可靠性的RF前置IC,并计划在1999年推出。公司声称这些产品将在发展迅速的移动通信市场中占主导地位,使菲利浦公司继续保持全球领先地位。QUBIC3工艺的CMOS部分目前采用成熟的0.5Vm工艺,其有效栅长为0.处产m。它是…

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