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| 光探测器与光学系统 | |
| 摘 要： | 本文介绍了将一个基于 GaAs 的放大器同一个大面积的高性能基于 InP 的薄膜金属一半导体一金属(MSM)光电检测器相集成的技术。薄膜集成是一种混合集成方案,它能使 InP 检测器与 GaAs 电路间的寄生参数减至最小。GaAs 集成电路是采用批量生产的TriQuint 半导体制造工艺来生产的;这证明了可采用标准的基于 GaAs 的 Foundry 电路制作长波长、高集成度、高速、低成本的光电接收机。参7 |
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