| 微加热板气体传感器的仿真及结构优化 |
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| 引用本文： | 张子立,殷晨波,陶春,朱斌.微加热板气体传感器的仿真及结构优化[J].仪表技术与传感器,2010(8). |
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| 作者姓名： | 张子立 殷晨波 陶春 朱斌 |
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| 作者单位： | 南京工业大学车辆与工程机械研究所,江苏南京,210009 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，江苏省自然科学基金，江苏省高校自然科学基金项目 |
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| 摘 要： | 针对微加热板气体传感器敏感薄膜上温度分布不均的缺点,在传统的微加热板传感器中加入了硅岛结构以均匀薄膜温度分布。利用有限元分析软件ANSYS对带有不同尺寸硅岛的传感器的温度分布进行了仿真和分析,得出了最佳的硅岛尺寸,并提出了一种新型的微加热板气体传感器结构设计,该传感器结构可以在性能不受影响的情况下简化制作工艺。
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| 关 键 词： | 微加热板气体传感器 结构优化 硅岛 温度分布 |
Simulation and Optimization of Structure of Micro-hotplate Gas Sensor |
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| ZHANG Zi-li,YIN Chen-bo,TAO Chun,ZHU bin.Simulation and Optimization of Structure of Micro-hotplate Gas Sensor[J].Instrument Technique and Sensor,2010(8). |
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| Authors: | ZHANG Zi-li YIN Chen-bo TAO Chun ZHU bin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ANSYS |
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