| 高性能MOS结构高频C-V特性测试仪 |
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| 引用本文： | 陈国杰,曹辉,谢嘉宁. 高性能MOS结构高频C-V特性测试仪[J]. 电测与仪表, 2004, 41(11): 22-24 |
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| 作者姓名： | 陈国杰 曹辉 谢嘉宁 |
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| 作者单位： | 佛山大学,理学院,广东,佛山,528000;佛山大学,理学院,广东,佛山,528000;佛山大学,理学院,广东,佛山,528000 |
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| 基金项目： | 广东省教育厅自然科学基金资助项目(Z02069) |
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| 摘 要： | MOS结构高频C-V(电容-电压)特性测量是检测MOS器件制作工艺的重要手段。本阐述了用高频检测法测量MOS电容的原理，介绍了用变频技术和集成芯片设计MOS结构高频C-V特性测试仪的方法。该测试仪电路简单，成本低，分辨率高，测量准确，稳定性好。
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| 关 键 词： | MOS电容 变频 放大器 测试仪 |
| 文章编号： | 1001-1390(2004)11-0022-03 |
| 修稿时间： | 2004-08-11 |
High performance tester for high frequency C-V characteristic of MOS structure |
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| CHEN Guojie,CAO Hui,XIE Jianing. High performance tester for high frequency C-V characteristic of MOS structure[J]. Electrical Measurement & Instrumentation, 2004, 41(11): 22-24 |
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| Authors: | CHEN Guojie CAO Hui XIE Jianing |
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| Abstract: | The principle of MOS capacitance measurement based on the method of high frequency detection is presented. The design method of tester for high frequency C-V Characteristic of MOS structure using frequency conversion technique and integrated chip is introduced. The tester has advantages of simple circuit, low cost, high resolution, accurate result and good stabilization. |
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| Keywords: | MOS capacitor frequency conversion amplifier tester |
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