硅微机械谐振式传感器超振机理分析

本文描述了激光束与硅桥作用产生的光弹，光热和光生电致张力效应。从基本的光生载流子方程和热扩散方程出发，分析和计算了各效应在桥上产生应力的大小，表明光生电致张力效应是硅桥起振的主要原因。