| MEMS可调式光衰减器性能测试及其分析 |
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| 引用本文： | 赵小林,李文军,蔡炳初,戴旭涵. MEMS可调式光衰减器性能测试及其分析[J]. 微细加工技术, 2002, 0(1): 60-65 |
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| 作者姓名： | 赵小林 李文军 蔡炳初 戴旭涵 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术国家级重点实验室,上海,200030 |
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| 摘 要： | 采用微细加工的方法研制出了一种可调式微机械光衰减器 ,对该衰减器的性能进行了测试 ,并对影响其光学性能的因素作了分析。测试表明 ,该衰减器的插入损耗<3dB ,衰减范围 0～ 4 0dB ,回波损耗 <- 45dB ,衰减精度可达 0 1dB。
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| 关 键 词： | MEMS 性能测试 微机械 可调试光衰减器 插入损耗 回波损耗 衰减精度 |
| 文章编号： | 1003-8213(2002)01-0060-06 |
| 修稿时间： | 2001-02-26 |
Measurement and Analysis on Electromagnet Moving- MEMS Variable Optical Attenuator |
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| ZHAO Xiao ling,LI Wen jun,CAI Bing chu,DAI Xu han. Measurement and Analysis on Electromagnet Moving- MEMS Variable Optical Attenuator[J]. Microfabrication Technology, 2002, 0(1): 60-65 |
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| Authors: | ZHAO Xiao ling LI Wen jun CAI Bing chu DAI Xu han |
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| Abstract: | A electro magnetically driven micro electro mechanical systems (MEMS) variable optical attenuator is fabricated by microfabrication technology. The attenuator is evaluated, and the factors effecting on its optical performance are also analyzed. The results show that the MEMS attenuator has less than 3 dB fiber to fiber insertion loss at 1550 nm wavelength and 45 dB return loss,0 40dB attanuation range and 0.1dB attenuation accuracy. |
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| Keywords: | micro machine variable optical attenuator insertion loss return loss attenuation precision. |
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