等离子体刻蚀处理对金刚石膜结石性能影响的研究

研究了一种特殊的前处理工艺，即原位氩－氢等离子体制蚀，对金刚石膜与硬质合金基体结构性能的影响，结果表明江 氩－氢等离子体刻馒有明显地粗化基本表面，改变表面的化学成分，并形成一层纯钨层。当这层纯钨层在后续的工艺中被再次碳化后，金刚石膜与与基体的结合结构得到明显提高。