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Zn_(1-x)Mn_xSe/Zne应变超晶格的分子束外延生长及特性研究
引用本文:靳彩霞,凌震,王东红,俞根才,王杰,黄大鸣,侯晓远,沈孝良,姚文华.Zn_(1-x)Mn_xSe/Zne应变超晶格的分子束外延生长及特性研究[J].半导体学报,1997,18(9):648-653.
作者姓名:靳彩霞  凌震  王东红  俞根才  王杰  黄大鸣  侯晓远  沈孝良  姚文华
作者单位:复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海,200433,复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海,200433,复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海,200433,复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海,200433,复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海,200433,复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海,200433,复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海,200433,复旦大学分析测试中心!上海,200433,复旦大学分析测试中心!上海,200433
摘    要:用分子束外延方法在GaAS(100)衬底上成功生长了高质量的Zn1-xMnxSe/Znse(x=0.16,x=0.14)超晶格结构.用X射线衍射和喇曼散射对其结构、应变分布以及光散射性能进行了研究.当超晶格的总厚度大于其临界厚度时,超晶格将完全弛豫至一个新的平衡晶格常数.此时,在(100)平面内,ZnSe阱层受到张应变,而Zn1-xMnxSe垒层受到压应变,从而,导致其喇曼光谱中,ZnSe阱和Zn1-xMnxSe垒的LO声子峰分别向低频方向和高频方向移动.当超晶格总厚度小于其临界厚度时,超晶格不再弛豫而是保持过渡层Znse的晶格常数,此时,ZnSe阶层不再受到应变,而Zn1-xMn

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