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基于激光微加工Al2O3微结构Cl2传感器的制作及性能研究
引用本文:施云波,张洪泉,胡竹平,冯桥华,项金娟,郭建英.基于激光微加工Al2O3微结构Cl2传感器的制作及性能研究[J].传感技术学报,2006,19(5):2103-2106.
作者姓名:施云波  张洪泉  胡竹平  冯桥华  项金娟  郭建英
作者单位:哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院,哈尔滨,150080
基金项目:黑龙江省科技攻关项目,国家自然科学基金,国家重点基础研究发展计划(973计划)
摘    要:以膜厚为250 μm的Al2O3膜为微结构基板、95#Al2O3瓷板为微壳结构体,设计并采用激光微加工技术制作了具有Φ0.2 mm微孔通道的微结构传感器.阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程,并通过真空镀膜形成气敏膜.实现了主动吸气的检测模式,提高了响应时间和气敏性.通过SEM分析得到了良好的表面形貌和膜尺寸,用做电极和加热器Pt膜厚为500nm,敏感膜厚为150 nm,微壳深度为150~200μm.测试结果表明对Cl2具有较好的敏感响应,灵敏度为0.01%浓度下0.25倍,并呈现P型半导体的变化规律.研究了通气状态和加热电压对传感器响应和气敏性的影响.

关 键 词:激光微加工  Al2O3微结构  微壳  Cl2传感器
文章编号:1004-1699(2006)05-2103-04
修稿时间:2006年7月1日

The facture and performance study of Cl2 sensor based on laser micro-machining on Al2O3 microstructure
SHI Yun-bo,ZHANG Hong-quan,HU Zhu-ping,FENG Qiao-hu,XIANG Jin-juan,GUO Jiany-ing.The facture and performance study of Cl2 sensor based on laser micro-machining on Al2O3 microstructure[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):2103-2106.
Authors:SHI Yun-bo  ZHANG Hong-quan  HU Zhu-ping  FENG Qiao-hu  XIANG Jin-juan  GUO Jiany-ing
Abstract:
Keywords:laser micro-machining  Al_2O_3 microstructure  micro shell  Cl_2 sensor
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