| 铁电薄膜材料及其相关问题研究进展 |
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| 引用本文： | 陈志武,卢振亚. 铁电薄膜材料及其相关问题研究进展[J]. 材料导报, 2005, 19(5): 83-86 |
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| 作者姓名： | 陈志武 卢振亚 |
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| 作者单位： | 华南理工大学电子材料科学与工程系,广州,510640;华南理工大学电子材料科学与工程系,广州,510640 |
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| 基金项目： | 华南理工大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 铁电薄膜材料是目前国际上研究的热点之一.综述了铁电薄膜及其制备技术研究的新进展,介绍铁电薄膜材料的性能及应用,并重点分析了铁电薄膜不同制备技术的优缺点,指出了目前关于铁电薄膜研究中的一些重要问题.
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| 关 键 词： | 铁电薄膜 制备技术 性能和应用 |
Research Progress in Ferroelectric Thin Film and Related Aspects |
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| Chen Zhiwu,LU Zhenya. Research Progress in Ferroelectric Thin Film and Related Aspects[J]. Materials Review, 2005, 19(5): 83-86 |
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| Authors: | Chen Zhiwu LU Zhenya |
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| Abstract: | Ferroelectric thin film is one of the research focus recently.Recent studies on ferroelectric thin films and the related processing methods are reviewed.The performance and the application of ferroelectric thin films are described in this paper.The advantages and disadvantages of different processing methods for ferroelectric thin films are discussed especial- ly.Some important aspects in ferroelectric thin film are outlined. |
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| Keywords: | ferroelectric thin film processing methods performance and application |
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