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焦磷酸质子交换LiNbO_3光波导制备技术研究
引用本文:梁东波,唐杰,矶守,陈林,袁一方,陈抱雪. 焦磷酸质子交换LiNbO_3光波导制备技术研究[J]. 大气与环境光学学报, 2001, 0(5)
作者姓名:梁东波  唐杰  矶守  陈林  袁一方  陈抱雪
作者单位:上海理工大学光学与电子信息工程学院,上海理工大学光学与电子信息工程学院,日本东京农工大学工学院应用化学系,上海理工大学光学与电子信息工程学院,上海理工大学光学与电子信息工程学院,上海理工大学光学与电子信息工程学院 上海 200093,上海 200093,日本东京
摘    要:采用焦磷酸质子交换技术制备 LiNbO3光波导,总结了交换条件、退火工艺和波导特性的实验结果,报告了表面腐蚀情况和单模条件。测量分析了退火前后波导折射率分布的变化,采用循环迭代法拟合折射率分布。结果显示退火前后的折射率分别呈近似阶梯和近似指数的分布,均可用费米函数良好地描述。

关 键 词:LibO3光波导  质子交换  渐变折射率分布

Study on Technology of Proton-exchanged LiNbO_3 Waveguides Fabricated Using H_4P_20_7
Liang Dongbo,Tang Jie,Iso Mamoru,Chen Lin,Yuan Yifang,Chen Baoxue. Study on Technology of Proton-exchanged LiNbO_3 Waveguides Fabricated Using H_4P_20_7[J]. Journal of Atmospheric and Environmental Optics, 2001, 0(5)
Authors:Liang Dongbo  Tang Jie  Iso Mamoru  Chen Lin  Yuan Yifang  Chen Baoxue
Abstract:Properties of proton-exchanged optical planar waveguides in x- cut LiNbO3 fabri-cated using H4P207 are studied. Exchange conditions and annealing properties are discussed with experimental data. The result shows that the graded-index of waveguides changed from a step function to an exponential shape after annealing, and its profiles can be recovered using the Fermi function from measured mode indices.
Keywords:LiNbO3 waveguide   proton-exchange   graded-index profile
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