MEMS/MOEMS在光通信中的应用 |
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引用本文: | 李锋.MEMS/MOEMS在光通信中的应用[J].光机电信息,2002(8):8-12. |
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作者姓名: | 李锋 |
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作者单位: |
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摘 要: | 微机电系统(MEMS)在光学领域中的应用是其最重要的应用之一,其原因不仅在于微机械技术能够改善光学系统的性能和功能,还因为这些光学微系统能够满足市场对光通信网络、数据存储和传感器的需求。本文以MEMS光开关等为例,讨论了基于MEMS技术的各种光电器件在光通信网络中的发展趋势。
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关 键 词: | MEMS MOEMS 光通信 |
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