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| 二维并联跨尺度压电精密位移驱动平台研制 | |
| 引用本文： | 潘成亮,吴家豪,张婷,蒋衡,李维诗,夏豪杰.二维并联跨尺度压电精密位移驱动平台研制[J].计测技术,2023(1):154-160. |
| 作者姓名： | 潘成亮 吴家豪 张婷 蒋衡 李维诗 夏豪杰 |
| 作者单位： | 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院 测量理论与精密仪器安徽省重点实验室，安徽 合肥 230009 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金（51775157,51975179）；;中央高校基本科研业务费项目（PA2021GDSK0099）； |
| 摘 要： | 多自由度跨尺度精密位移驱动平台在光学计量检测、半导体制造、生物医学工程等诸多领域具有广泛的应用需求。针对串联多自由度压电驱动平台结构厚重的问题，结合压电柔性铰链机构和冲击驱动原理，研制了一款结构紧凑的二维并联跨尺度压电精密位移驱动平台。通过有限元仿真和实验测试验证其性能，结果表明：压电柔性铰链定子的静态位移为7.95μm，固有频率为11.80 kHz。低频步进位移和高频平滑运动测试表明：原理样机的步进位移分辨力为100 nm，平滑运动速度为4.96 mm/s，负载力达到100 mN以上。原理样机基本满足多自由度跨尺度精密位移驱动的技术要求，在微纳光学检测等系统中具有良好的应用价值。 |
| 关 键 词： | 压电平台 并联机构 冲击驱动 柔性铰链 步进位移 平滑运动 |
Development of two-dimensional parallel cross-scale piezoelectric precision displacement driving platform |
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| Abstract: | |
| Keywords: | piezoelectric platform parallel mechanism impact drive flexure hinge step displacement smooth movement |
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