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| 基于色散共焦原理的内径测量技术研究 | |
| 引用本文： | 刘汉戈,闫钰锋,唐卫,韩佳昊,潘国涛.基于色散共焦原理的内径测量技术研究[J].计测技术,2023(1). |
| 作者姓名： | 刘汉戈 闫钰锋 唐卫 韩佳昊 潘国涛 |
| 作者单位： | 1.长春理工大学 光电工程学院，吉林 长春 130022 2.中国白城兵器试验中心，吉林 白城 137000 |
| 摘 要： | 为了满足小口径深孔类零件的高精度非接触测量需求，研制了一套适用于较大测量范围的高分辨力光学测量系统。利用色散共焦测量原理，建立了微位移量系统，结合光谱分析技术，形成了高分辨力光学测量系统。首先，基于色散共焦原理，设计了色散物镜结构；其次设计爬行结构，利用电机带动反射镜旋转，完成深管不同截面的径向几何尺寸测量；再次，通过最小二乘法以及误差分析与补偿，对系统误差进行分析；最后通过搭建实验平台验证。结果表明：该测量系统可实现小测量范围达到5 mm，测量误差优于3.3 μm，具有测量精度高、测量范围较大、结构紧凑等优点，对解决小尺寸深孔类零件内径测量难题具有重要实用意义。 |
| 关 键 词： | 内径测量 非接触测量 色散共聚焦 测量系统 |
Inner diameter measurement based on dispersive confocal principle |
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| Abstract: | |
| Keywords: | inner diameter measurement non-contact measurement dispersion confocal measurement system |
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