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| 大量程高性能光栅位移测量技术 | |
| 引用本文： | 刘林,刘兆武,于宏柱,王玮,姜岩秀,姜珊,孙宇佳,金思宇,梁旭,巴音贺希格,李文昊.大量程高性能光栅位移测量技术[J].计测技术,2023(1):81-90. |
| 作者姓名： | 刘林 刘兆武 于宏柱 王玮 姜岩秀 姜珊 孙宇佳 金思宇 梁旭 巴音贺希格 李文昊 |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（U21A20509）； |
| 摘 要： | 高精度光栅位移测量系统具有纳米级重复精度、环境适应性强、维度易于扩展等优点，可以满足精密制造行业对米级测量量程、亚微米级精度与多维测量能力融合的测量技术要求，在高端制造、精密仪器等领域有重要应用。通过对测量光栅的各项参数进行研究，提升了测量光栅的尺寸与制作精度；提出高精度锥面衍射光栅位移测量、高倍细分转向干涉光栅位移测量、“品”字形拼接大量程光栅位移测量等技术，实现了数百毫米测量量程亚微米级测量精度。从光栅制作到测量系统研制对提升精度、分辨力及量程提供了理论分析与技术验证。 |
| 关 键 词： | 光栅位移测量 锥面衍射 转向干涉 大量程拼接 |
Large range and high performance grating displacement measurement technology |
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| Abstract: | |
| Keywords: | gating displacement measurement conical diffraction steering interference large range splicing |
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