| 一种内置双层电热MEMS安保机构的微点火序列 |
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| 引用本文： | 王柯心,胡腾江,赵玉龙,任炜.一种内置双层电热MEMS安保机构的微点火序列[J].含能材料,2023,31(3):229-234. |
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| 作者姓名： | 王柯心 胡腾江 赵玉龙 任炜 |
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| 作者单位： | 西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室， 陕西 西安 710049,西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室， 陕西 西安 710049,西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室， 陕西 西安 710049,陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室， 陕西 西安 710061 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助（52105585） |
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| 摘 要： | 为实现点火序列的高安全性及微封装体积，研究设计并制作了一种内置双层电热MEMS安保机构的微点火序列，该序列包含了点火器、安保机构及点火药等核心部件，整体封装尺寸为Φ10 mm×3.3 mm。其中安保机构为具有双稳态功能的双层结构，前端的点火器为覆盖有Al/CuO微装药的NiCr桥箔，桥箔电极采用背部无引线封装的方法来降低序列封装体积，后端的点火药采用硼/硝酸钾（Boron/potassium nitrate）点火药。采用控制Al/CuO装药量的方法对其安保性能进行测试，结果表明该序列在Al/CuO装药尺寸为Φ800μm×30μm时安保机构在安全状态下能够阻隔前端点火器火焰能量的传递并保持结构功能完整，在解保状态下能够使后端的点火药被点火器点燃，具备点火隔火能力。
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| 关 键 词： | 点火序列 安保机构 电热执行器 MEMS BPN |
| 收稿时间： | 2022/8/17 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2023/3/13 0:00:00 |
Design of a MEMS Ignition Device with a Double-layer Barrier Electro-thermal Safety and Arming Device |
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| WANG Ke-xin,HU Teng-jiang,ZHAO Yu-long and REN Wei.Design of a MEMS Ignition Device with a Double-layer Barrier Electro-thermal Safety and Arming Device[J].Chinese Journal of Energetic Materials,2023,31(3):229-234. |
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| Authors: | WANG Ke-xin HU Teng-jiang ZHAO Yu-long and REN Wei |
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| Keywords: | pyrotechnics safety and arming device electro-thermal actuator MEMS BPN |
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