| 子孔径拼接检验法中倾斜的影响及消除方法 |
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| 引用本文： | 张明意,李新南. 子孔径拼接检验法中倾斜的影响及消除方法[J]. 光电工程, 2006, 33(8): 117-122 |
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| 作者姓名： | 张明意 李新南 |
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| 作者单位： | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,江苏,南京,210042;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,江苏,南京,210042 |
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| 摘 要： | 在子孔径拼接检测大口径光学平面时,子孔径检测的数据往往存在倾斜,它将会导致拼接的数据沿着一个方向的倾斜累加,最后引入很大的倾斜误差。由于这种倾斜误差难以手动修正,通过实验,先用最小二乘法编制软件对所测子孔径数据进行消除倾斜处理,然后把去倾斜的子孔径数据进行拼接处理,对比消除倾斜的子孔径拼接结果与全口径直接检测结果,证明了去倾斜处理在子孔径拼接检测处理中的有效性。
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| 关 键 词： | 光学检测 光学元件 子孔径拼接 倾斜 |
| 文章编号： | 1003-501X(2006)08-0117-06 |
| 收稿时间： | 2005-08-17 |
| 修稿时间： | 2005-10-30 |
Influence of tilt in stitching interferometry and how to eliminate it |
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| ZHANG Ming-yi,LI Xin-nan. Influence of tilt in stitching interferometry and how to eliminate it[J]. Opto-Electronic Engineering, 2006, 33(8): 117-122 |
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| Authors: | ZHANG Ming-yi LI Xin-nan |
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| Keywords: | Optical testing Optical element Stitching interferometry Tilt |
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