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| 材料制备工艺 | |
| 摘 要： | 0319792采用金属镓层氮化技术在石英衬底上生长多晶体GaN[刊]/邵庆辉//真空科学与技术.—2003,23(2).—120～122(L)随着多晶 GaN 材料发光研究的不断深入,大面积、价格低廉的多晶 GaN 基光电器件的研制已成为工业生产中一个重要的研究领域。石英玻璃以共自身特有的优势,成为生长多晶 GaN 材料的较为理想的衬 |
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