| 大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展 |
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| 引用本文： | 吕反修, 唐伟忠, 李成明, 陈广超, 佟玉梅. 大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展[J]. 红外技术, 2003, 25(4): 1-7. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.001 |
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| 作者姓名： | 吕反修 唐伟忠 李成明 陈广超 佟玉梅 |
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| 作者单位： | 北京科技大学,材料学院功能材料研究所,北京,100083 |
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| 基金项目： | 863计划支撑项目:(项目合同号为: 863-715-02(Z)-A, 863-715-Z38-03, 2002AA305508). |
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| 摘 要： | 大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一.综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展.给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet) CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果, 并报道了对所制备的光学级金刚石自支撑膜的光学、力学(机械)、热学和微波介电性能的最新研究结果.
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| 关 键 词： | 光学级金刚石膜 制备和加工 光学性能 热学性能 机械性能 微波介电性能 |
| 文章编号： | 1001-8891(2003)04-0001-07 |
| 修稿时间： | 2003-02-11 |
Progress on the R&D for Large Area Optical Grade Freestanding Diamond Films |
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| Progress on the R&D for Large Area Optical Grade Freestanding Diamond Films[J]. Infrared Technology , 2003, 25(4): 1-7. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.001 |
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| Abstract: | |
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