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| 可调整光程的激光测长机 | |
| 引用本文： | 黄雷,马宏,窦艳红,马钟焕,杨璐.可调整光程的激光测长机[J].红外与激光工程,2012,41(8):2192-2196. |
| 作者姓名： | 黄雷 马宏 窦艳红 马钟焕 杨璐 |
| 作者单位： | 1. 长春理工大学光电工程学院,吉林长春,130022 2. 吉林省计量科学研究院几何量室,吉林长春,130022 3. 吉林东光精密机械厂,吉林长春,130000 |
| 基金项目： | 国家863计划(2007AA701203) |
| 摘 要： | 为进一步提高激光测长机的测量精度及可靠性,满足高精度长度尺寸的计量检定要求,研制了一种可调整光程的激光测长机。采用激光干涉仪作为测量基准,结构设计符合阿贝原则,同时,可根据被测长度的大小调整激光干涉仪和测量组件的安装位置,提高了测量准确度。并对影响激光测长机测量准确度的误差进行了不确定度分析。实验结果表明,该激光测长机的测量准确度达到了±(0.5μm+1.5×10-6L),测量重复性为0.2μm。满足高测量精度及高可靠性等技术指标要求。 |
| 关 键 词： | 计量学 可调整光程 激光测长机 阿贝原则 直接测量 |
Laser measuring machine of adjustable optical path |
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| Huang Lei , Ma Hong , Dou Yanhong , Ma Zhonghuan , Yang Lu.Laser measuring machine of adjustable optical path[J].Infrared and Laser Engineering,2012,41(8):2192-2196. | |
| Authors: | Huang Lei Ma Hong Dou Yanhong Ma Zhonghuan Yang Lu |
| Affiliation: | 1.School of Optoelectronic Engineering,Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China; 2.Laboratory of Geometry,Jilin Institute of Metrology,Changchun 130022,China; 3.Jilin Dongguang Precision Mechanism Factory,Changchun 130000,China) |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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